无尘室工艺设备配套系统安装服务（SZTUWSJJ2500177）采购公告
· 2025-11-24
| 项目名称 | 无尘室工艺设备配套系统安装服务 | 项目编号 | SZTUWSJJ2500177 |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2025-11-24 09:21:55 | 公示截止日期 | 2025-11-27 10:00:00 |
| 采购单位 | 深圳技术大学 | 付款方式 | 合同签订并收到发票后10个工作日内，支付合同总价50%的款项。验收合格后，采购人支付合同总价50%的款项 |
| 履约保证金 | 无履约保证金 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后10工作日 | 到货时间要求 | |
| 预算 | ￥ 297,000 | ||
| 供应商资质要求 | ; 不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动 (必选) | ||
| 收货地址 | |||
采购清单1
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 无尘室工艺设备配套系统安装服务 | 1 | 批 | 其他服务 |
| 预算 | ￥ 297,000 | ||
|---|---|---|---|
| 技术参数 | 1. 将湿法刻蚀清洗机、金属湿法刻蚀机、显影清洗机、ICP、PECVD、LPCVD及XeF2刻蚀机等共7台工艺设备的主设备与附属设备的连接并与洁净室厂务系统的排风、电力、给排水及特气等管网进行对接与连接。为确保设备正常运行和洁净室环境要求，需提供各设备安装所需的管道、电缆、阀门、仪表等配套材料，所有材料应符合洁净室使用标准和洁净度等级要求。同时，需完成系统对接后的功能测试、气密性检测、绝缘测试、流量及压力验证等相关检测与验收服务，确保整体系统安全、稳定、可靠运行。 2. 提供文件编制和安装计划制定的服务：制定材料预制、设备安装、测试到验收的完整项目计划，确保各环节有序衔接。 3. 提供设备安装所需附材的管理服务：设备安装所涉及的管道、管件、阀门进行分区存放和清晰标识。 4. 提供管道预制的服务：在指定场地进行管道预制，包括精确切割、坡口加工、酸洗脱脂（如需要）和标识，确保预制件清洁度与精度。 5. 提供设备所需的气体管道焊接服务：特种气体管道等关键系统须采用自动焊机，由持证焊工按评定合格的焊接工艺执行，确保焊缝质量。 6. 提供设备所需的管道洁净处理服务：对特种气体、超纯水等管道进行严格的酸洗、钝化、脱脂处理，并使用高纯气体吹扫，确保内部洁净度。 7. 提供设备所需的管道安装服务：设备所需的管道安装需遵循图纸进行连接，禁止强力对口，与设备连接时需保证对中精度。 8. 提供完整的管道压力与严密性测试服务：按规范进行管道系统强度试验和严密性试验，试验压力与稳压时间需符合使用要求。 9. 提供系统的氦检漏测试服务：对特种气体系统执行氦质谱检漏，确保所有可能泄漏点的漏率低于1E-9 mbar·l/s的标准。 10. 提供颗粒物测试服务：对特气系统进行颗粒测试，确保大于0.1微米的颗粒物含量≤1颗/立方英尺。 11. 提供水分与氧分测试服务：对特气系统进行水分和氧分测试，确保指标稳定低于10ppbv。 12. 提供给排水管道的安装服务：按介质特性选用正确连接方式，并确保阀门、附件压力等级匹配。 13. 提供给排水系统功能性测试服务：根据管道强度试验、严密性试验、冲洗及排水管道灌水试验，确保无渗漏。 14. 所有管道与风管的支、吊架安装需符合使用要求，位置正确，安装牢固，不破坏保温层。 15. 提供排风风管制作与安装的服务：根据废气类型（一般、有机、酸碱、防爆等）选用指定材质（镀锌钢板、不锈钢等）并按规范制作、连接与加固。 16. 提供排风系统关键部件安装服务：防火阀、排烟口、调节阀等部件的安装位置、方向需正确，并设置必要的检修口。 17. 提供防静电与接地措施的服务：对易燃易爆环境下的排风系统及有要求的管道系统，进行可靠的防静电接地安装与测试。 18. 提供电气设备安全安装与配电：依国家安全规范对设备进行布线、接线、接地，确保绝缘良好，防护到位。 19. 提供电气系统调试与绝缘检查的服务：调试完成后对电气设备及线路进行全面的绝缘检查，确保符合标准。 20. 提供管道与风管的防腐与保温的服务：对金属管道进行防腐处理，对冷水管及易结露部位进行保温，确保保温层连续、密封。 21. 提供清晰的管道与系统标识的服务：所有管道均需按标准标明介质名称及流向，电气设备与风系统部件标识清晰。 22. 提供设备调试前的检查服务：设备启动前，对所有设备的电源、气源、管道连接、阀门状态及安全保护装置进行彻底检查。 23. 提供分阶段设备启动与测试的服务：从空载启动开始，逐步测试设备运行状态、压力、流量及报警、监控系统的功能。 24. 提供安全保护功能验证的服务：全面测试超压保护、气体泄漏报警、紧急停机等安全装置，确保其灵敏可靠。 25. 设备安装完成后，提供测试报告在内的全套文档。 26. 提供操作与维护培训的服务：提供系统性的设备操作、日常维护及应急处理培训，并移交相关技术手册。 27. 投标人应在服务时提供设备安装的平面布局图和安装示意图，图纸为DWG格式。 28. 动力电缆铺设，采用低烟无卤阻燃电力电缆 WDZ-YJY-1，规格 4×150+70mm2，用于设备主电源连接，包含电缆敷设、端接、走线固定、标识及所有安装辅材。电缆长度≥15 米，并按洁净室规范执行。 29. 动力电缆铺设（分支电源），采用低烟无卤阻燃电力电缆 WDZ-YJY-1，规格 5×6mm2，用于设备辅助电源或控制电源连接，包含人工安装、端子压接及所需辅材，电缆长度≥10 米。 30. 断路器安装，选用 MCCB-TM100/4P 空气断路器，用于设备电源回路保护，包含配电箱内安装、线缆接入、标识及必要辅材。数量不少于 1 套，安装符合安全及电气规范要求。 31. 排风管道，规格：4，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥39米， 32. 加热套，厚度：10mm，规格：4，电压220V，加热温度0-150度。含加热箱1台。包含人工安装及辅材。≥39米 33. 弯头，规格：4，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥8个 34. 排风管道，规格：38.1mm，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥107米 35. 弯头，规格：38.1mm，材质：SUS316 BA ，供货时提供材料质量合格证书。包含人工安装及辅材。≥16个 36. 管码管道支架，含五金辅件，管道支架。包含人工安装及辅材。≥146个 37. 检漏测试，采用气体检漏测试，所有焊接点位使用检测液体进行测试。≥5项 38. 排风管道，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥8米 39. 手动排风阀，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥2个 40. 排风弯头，规格：φ101mm，材质：304不锈钢，壁厚1.0mm。包含人工安装及辅材。≥4个 41. 排风三通，规格：φ101mmTEE，材质：3 | ||
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